#生活手记#

今天下午应邀去把之前搬迁后的光刻机进行维护和调试。

搬迁会对设备造成一定的损坏。 折腾了近三个小时，发现汞灯不正常，目镜载具掉下来了（里面的方形棱镜还脱落了），于是换上新汞灯，顺便清洁一下汞灯台内部，把棱镜重新粘回原位，再把目镜载具安装好。说起来很容易，但是负责接洽的研究生啥也不准备，缺各种工具，只能在现场找东西凑合着用。

后面演示时，发现快门不能启动导致无法曝光。分析原因很可能是真空抽气不足，也怀疑是控制气流开关的电磁阀又坏了。于是拆开控制台面板，发现一根黑色细气管老化断裂开了。换上新气管后再试验，快门还是不动，只好又拆开面板，发现另一根气管也是老化断裂，也是以旧换新。 再次试验，快门还是岿然不动！ 只好归咎于电磁阀了，让研究生对照着原型号再买一个。

还有一个问题没解决，就是气管连接头无法与抽气气管紧密连接，导致漏气，这是通过用手压住连接处的气管可以改善真空度而发现的。 我想着把连接头与另一个空着的连接头对调一下，于是拆掉它们，仔细看看连接头内部，发现有老化断裂的残留气管片段在里面堵着，难怪插气管时插不紧！ 两个连接头都是内部有气管残留，只好丢弃不用，找了一个塑料的直通头代替着用。结果发现，抽气时真空表的示数从没有更换气管连接头时的-0.2 变成现在的-0.6 了，这下快门就能动了，光刻机算是复活了！
#仪器维修#

这台光刻机应该是2011年就购买了的，放到学院就没有开封过。直到我2017年入职后，才被我开封使用，用来给微电子专业的学生做芯片制造工艺实训。带来几届学生做光刻试验后，实在感到心累，就趁着培养方案修订时把芯片实训的内容改成虚拟仿真了。毕竟只有这么一台光刻机，一个一个或一组一组地指导，也是超级耗费自己的时间！于是，光刻机沉眠了近两年（或许更久，记不清了！），在堆满杂物的仓库中的角落里。

在这次搬迁之前，光刻机也是腾挪过两次，安放有三处。倒是与我自己的职业生涯有相似之处，辗转漂泊，无处安身！这一次希望光刻机能够安稳工作，发挥一下自己的价值，不是用于教学，而是为科学研究做贡献！