EUV光刻胶标准的制定,主要的意义在于打破漫长的验证期。
一般的晶圆厂,不会轻易更换某个厂商的光刻胶,因为一次更换的成本非常高。
此次标准的制定,将有利于晶圆厂试验国产的光刻胶,特别是适用于极紫外光的光刻胶。
前端时间,光刻胶概念涨得飞起,一方面是国内设备开始导入,另一方面就是这个信息的内部流传。
但是现在这个信息放出来,也许就是概念落地。
发布于 北京
EUV光刻胶标准的制定,主要的意义在于打破漫长的验证期。
一般的晶圆厂,不会轻易更换某个厂商的光刻胶,因为一次更换的成本非常高。
此次标准的制定,将有利于晶圆厂试验国产的光刻胶,特别是适用于极紫外光的光刻胶。
前端时间,光刻胶概念涨得飞起,一方面是国内设备开始导入,另一方面就是这个信息的内部流传。
但是现在这个信息放出来,也许就是概念落地。