伦敦大爵爷 25-10-29 10:18
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EUV光刻胶标准的制定,主要的意义在于打破漫长的验证期。

一般的晶圆厂,不会轻易更换某个厂商的光刻胶,因为一次更换的成本非常高。

此次标准的制定,将有利于晶圆厂试验国产的光刻胶,特别是适用于极紫外光的光刻胶。

前端时间,光刻胶概念涨得飞起,一方面是国内设备开始导入,另一方面就是这个信息的内部流传。

但是现在这个信息放出来,也许就是概念落地。

发布于 北京