中科院金属所新研究出的“闪速退火”工艺,简直是材料界的“秒速魔法”——一秒钟就能在硅晶圆上造出高性能储能薄膜,比传统工艺快到飞起!
传统退火又慢又坑,晶粒容易长粗、元素还会挥发,而这新工艺升降温速率飙到每秒1000℃,瞬间把锆酸铅材料的高温特殊结构“冻”在室温,形成不到3纳米的纳米微畴,这可是储能效率的关键密码。
更绝的是它还解决了老毛病:薄膜致密均匀,能锁住易挥发的铅元素,缺陷少、漏电流低,储能密度飙到63.5焦耳/立方厘米,比传统的高出一大截。而且超耐造,从-196℃极寒到400℃酷热,性能衰减不到3%,深空、高温井场都能hold住。
现在2英寸硅晶圆上已经能做出均匀薄膜,操作简单还能规模化,给芯片级储能提供了靠谱方案,还能让其他铁电材料性能翻五倍。这成果登了《科学进展》,未来新能源汽车、高功率电子设备都能用,中国科研团队这波真的太顶了! http://t.cn/AX2mHz7C
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