伴随TPU、人形机器人、商业航天等新产业的快速发展，MEMS的重要性越来越突出，也是最受益的细分行业。MEMS成为新兴产业体系的最核心零部件。

MEMS（微机电系统）产业链上市公司梳理

一、芯片设计环节

敏芯股份(688286)：国内MEMS第一股，专注声学、压力、惯性传感器芯片设计，产品应用于消费电子、医疗设备

芯动联科(688515)：高性能MEMS惯性传感器(陀螺仪、加速度计)，主要服务航天航空、航海等高可靠领域

汉威科技(300007)：国内领先气体、压力传感器设计制造企业，应用于环保监测、工业安全领域

华润微(688396)：IDM模式，同时布局MEMS芯片设计与制造，车规级MEMS传感器核心供应商

士兰微(600460)：国内功率半导体龙头，MEMS传感器产品线覆盖消费、工业和车规级市场

二、芯片制造环节

赛微电子(300456)：全球MEMS代工龙头，拥有自主知识产权和核心半导体工艺，客户包括全球知名传感器厂商

华润微(688396)：拥有6/8英寸MEMS专用工艺线，提供一站式芯片代工服务，尤其在车规级领域优势明显

华虹宏力(688347)：布局RF-MEMS和压力传感器代工，拥有完整的MEMS制造能力

三、封装测试环节

晶方科技(603005)：全球领先的WLCSP(晶圆级芯片尺寸封装)服务商，为MEMS传感器提供高可靠性封装解决方案，是MEMS封装的核心企业

华天科技(002185)：具备MEMS传感器的TSV(硅通孔)、Fan-out等先进封装技术，为客户提供一站式测试与封装服务

通富微电(002156)：全球第四大封测企业，具备MEMS传感器的系统级封装(SiP)能力，产品应用于智能终端

四、设备与材料环节

北方华创(002371)：国产半导体设备龙头，提供MEMS工艺所需的刻蚀、沉积等核心设备，打破国外垄断

中微公司(688012)：刻蚀设备技术领先，在MEMS深硅刻蚀领域具有独特优势，是国内MEMS制造设备重要供应商

苏大维格(300331)：微纳光学与MEMS制造交叉领域领先，提供高精度光刻与图形化解决方案

五、模组与应用环节

歌尔股份(002241)：全球MEMS麦克风绝对龙头，年出货量超10亿颗，市占率超30%，同时布局AR/VR光学传感器和智能穿戴设备

共达电声(002655)：专注声学MEMS传感器，产品应用于TWS耳机、智能音箱等消费电子领域

瑞声科技(02018.HK)：全球领先MEMS麦克风和触觉反馈供应商，为智能手机、可穿戴设备提供全方位感知解决方案

高德红外(002414)：MEMS红外探测器芯片与热成像系统提供商，产品应用于安防监控、自动驾驶领域

MEMS产业链已形成"设计-制造-封测-应用"的完整生态，国内企业正加速从单一环节向全产业链布局，尤其在消费电子、汽车电子和工业控制领域已具备与国际巨头竞争的实力，未来将持续受益于AIoT、智能制造和新能源汽车等下游应用爆发。

风险提示

技术研发不及预期、海外供应链限制、下游需求落地放缓。