集微网官方微博 25-12-08 21:54
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【#SK 海力士携手东进半导体#,开展EUV光刻胶研发】

据报道,#SK 海力士#携手东进半导体,开展高性能 EUV 光刻胶的联合研发,将替代此前由日本 JSR、东京应化工业(TOK)等企业供应的 EUV 光刻胶,同时要开发出性能超越现有产品的新型材料。http://t.cn/AXyYSrHN ​