#中国EUV光刻自主研发获重大进展# 深圳团队已于年初搞出原型机。

之前的消息是2025Q4试生产、2026量产，但没有想象的简单，测试时才发现很多地方还需努力，最新量产时间预计在2028—2030年！

这与我获得的高端光刻胶等一系列原料的量产时间基本一致！ ​