据报道，中国利用较旧的ASML组件制造EUV原型机，Eyes 2028芯片制造

能力的漫长进程似乎正在缩小，近期发展显示进展速度超乎预期。据路透社报道，消息人士称中国已组装了一台使用旧ASML系统组件的EUV原型机。

正如报道所示，消息人士称中国政府目标是在2028年前生产使用该原型机的实用芯片，尽管2030年被视为更现实的目标。原型机的存在表明，中国距离半导体自给自足可能比此前预期的更近数年。

报道援引消息人士称，原型机于2025年初完成，目前正在进行测试。报告补充说，虽然该机器已运行并具备极紫外光的能力，但尚未生产出可工作的芯片。

据报道，前ASML工程师参与了EUV项目

报道援引消息人士称，该原型机由前ASML工程师开发，他们在使用化名工作以保持机密的情况下逆向工程极紫外飞行设备，补充说，没有他们深厚的第一手专业知识，这项工作几乎不可能完成。

报告补充称，招募这些前ASML老将是2019年发起的积极人才招募活动的一部分，旨在吸引海外半导体专家，提供300万至500万元（约合42万至70万美元）的签约奖金及购房补贴。值得注意的是，报道提到，这些新成员包括ASML前光源技术负责人林楠，他所在的中国科学院上海光学研究所团队在过去18个月内申请了8项极紫外光源专利。

当前原型的局限性

虽然中国已开发出EUV原型，但报告指出其技术远不及ASML系统先进。原型机具备测试功能，但中国仍面临重大技术难题——尤其是在匹配西方供应商生产的超精密光学系统方面。

据报道中引用的消息人士透露，中国的原型机落后于ASML的机器，主要是因为研究人员难以获得如德国蔡司公司（ASML重要合作伙伴）提供的超精密光学系统。与此同时，据称原型机将使用日本尼康和佳能的出口限制组件。