【光刻产业链】最新行业动态热点一文全解析梳理。

上游：核心设备与零部件
光学系统：
主要情况，茂莱光学，波长光电、奥普光电、永新光学等

光源系统：DUV光刻机的核心光源
主要情况，新莱应材、富创精密），汇成真空等。

中游：光刻胶等关键材料

主要情况，鼎龙股份，彤程新材，上海新阳、南大光电、容大感光等。
光刻胶原材料：主要情况，强力新材、雅克科技、万润股份华融化学。

下游：晶圆厂扩产与洁净室
主要情况，中芯国际、长江存储、长鑫存储，亚翔集成、圣晖集成，美埃科技，华康洁净等。

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