【#东方晶源新一代HV-SEM出机# 电子束量检测竞争优势不断夯实】#东方晶源#

近日，东方晶源自主研发的新一代高能电子束设备（High Voltage SEM，简称HV-SEM）SEpA®-h755首台套顺利交付国内头部客户。HV-SEM是东方晶源继EBI、CD-SEM、DR-SEM之后推出的第四款电子束量检测设备，标志着公司在前道电子束量检测设备四大核心领域已完成全面布局。新一代HV-SEM的成功出机，不仅持续巩固公司在国内该赛道的领先优势，更彰显出面向先进工艺的电子束量测检测的硬核技术实力。
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