光刻机上市公司龙头股票以下是光刻机产业链中具有龙头地位的上市公司股票，涵盖光刻机整机、核心零部件及光刻胶材料等领域：

ASML（阿斯麦）

全球光刻机整机绝对龙头，垄断EUV光刻机市场，是先进制程（如3nm、2nm）芯片制造的核心设备供应商。其技术壁垒极高，产品广泛应用于全球头部芯片制造商。

上海微电子（未上市，但相关概念股张江高科、京华激光等涉及）

国内光刻机整机研发生产的领军企业，已实现28nm浸没式光刻机国产化，是国产光刻机领域的核心力量，未来有望在中低端制程市场进一步突破。

茂莱光学（688502）

光刻机光学系统核心供应商，提供匀光、中继照明模块器件及投影物镜等关键部件，技术精度达0.5nm RMS，国内市占率领先，是国产光刻机光学环节的重要支撑。

富创精密（688409）

半导体设备精密零部件龙头，为光刻机等核心设备提供关键结构件，产品精度和稳定性处于行业领先水平，受益于国产替代加速，是光刻机产业链中不可或缺的供应商。

南大光电（300346）

国内唯一实现28nm ARF光刻胶量产并通过头部晶圆厂验证的企业，光刻胶产品技术壁垒高，是国产光刻胶领域的“国家队”，订单持续释放，产能扩张支撑业绩增长。

彤程新材（603650）

光刻胶全链条布局的本土龙头，旗下科华微电子KRF光刻胶国内市占率超40%，并进入台积电供应链，同时在ARF胶、EUV封装光刻胶等领域研发领先。

华特气体（688268）

光刻气通过ASML子公司认证，切入高端光刻机核心耗材供应链，是国内稀缺的光刻气体供应商，国产替代空间广阔。

芯源微（688409）

国内唯一可提供量产型前道涂胶显影机的厂商，与光刻机配合作业，是国产替代的关键环节，产品应用于集成电路、LED芯片制造等领域。

珂玛科技（301611）

先进陶瓷材料零部件供应商，产品用于光刻机、涂胶显影设备等半导体前道工序，客户包括上海微电子、芯源微等国内头部企业，技术实力较强。

艾森股份（688720）

专注于高端半导体材料，光刻胶及相关配套试剂技术壁垒高，是国内光刻胶材料领域的核心标的，受益于国产替代需求。

以上公司分别在光刻机整机、零部件、光刻胶材料等环节占据重要地位，是光刻机产业链中的核心企业。需注意，半导体行业技术迭代快，投资需结合公司基本面、行业趋势及政策环境综合判断。