光刻胶产业链主要分为上游原材料、中游光刻胶制造和下游应用及配套三大环节。
核心企业及进展如下:
一、上游原材料(核心技术环节)
包括树脂、光引发剂、单体/溶剂等关键材料。
树脂:$八亿时空 sh688181$ (KrF树脂量产)、兴业股份(酚醛树脂送样)、强力新材、飞凯材料等。
光引发剂:$久日新材 sh688199$ (全球龙头)、强力新材(PCB光引发剂市占率高)、扬帆新材等。
单体/中间体:$常青科技 sh603125$ (2-乙烯基萘适配高端光刻胶)、鼎龙股份(PSPI单体)等。
溶剂/配套试剂:百川股份(PMA溶剂)、西陇科学(显影/剥离液)、红宝丽等。
二、中游光刻胶制造
按技术等级分为:
半导体光刻胶(壁垒最高):
南大光电(国内唯一ArF浸没式量产)、彤程新材(ArF光刻胶龙头)、上海新阳(ArF测试中)、晶瑞电材(KrF量产,ArF送样)等。
面板光刻胶:雅克科技(规模最大)、飞凯材料、彤程新材等。
PCB光刻胶(国产化率高):容大感光(规模第一)、广信材料等。
光敏聚酰亚胺(PSPI):鼎龙股份、阳谷华泰、万润股份等。
三、下游应用及配套
配套试剂:盛剑环境(剥离液/蚀刻液)、安集科技(光刻胶去除剂)、西陇科学等。
核心设备:芯源微(前道涂胶显影设备)、盛美上海(KrF涂胶显影设备)、精测电子(检测量测设备)等。
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