我国芯片制造核心装备取得重要突破
2026年01月17日 12:24来源：科技日报
记者17日从中核集团中国原子能科学研究院获悉，由该院自主研制的我国首台串列型高能氢离子注入机（POWER-750H）成功出束，核心指标达到国际先进水平。这标志着我国已全面掌握串列型高能氢离子注入机的全链路研发技术，攻克了功率半导体制造链中的关键环节，为推动高端制造装备自主可控、保障产业链安全奠定坚实基础。

关键概念股分析

1-600641先导基电：
子公司凯世通是国内领先的离子注入机企业，产品覆盖低能大束流、超低温、高能及氢离子注入设备等全谱系机型。截至2025年上半年，凯世通存量客户突破12家，设备已通过多家12英寸晶圆厂验证，并在CIS、功率半导体等领域实现产业化应用。公司技术布局包括微波PFG技术（优化金属污染控制）和碳化硅专用机型，市场份额稳步提升。离子注入机：凯世通在手订单饱满，业绩有望迎来高速增长。展望未来，看好凯世通在实现从0到1突破的基础上，由1至N快速放量。
个人观点：短期可以看看.

2-002371 北方华创：
作为综合半导体设备龙头，2025年正式进军离子注入机市场，发布多款12英寸机型。公司在束流均匀性控制、角度精度（±0.1°）等核心指标具备优势，覆盖低能大束流和高能离子注入设备。2024年总营收298.38亿元，同比增长35.14%，显示其在设备领域的综合实力和增长潜力。
个人观点：除了股价高点。没毛病.

3-688120华海清科
通过全资子公司芯嵛公司布局离子注入设备，聚焦低能大束流机型，已实现多台设备验收并批量交付头部晶圆厂。公司开发了iPUMA-LE水平带状大束流机型，集成磁场和电场模块，满足先进制程需求。同时，氢离子注入设备研发进展顺利，技术路径覆盖氢离子大束流等差异化方向，受益于CMP设备协同效应。
个观点：也就是股价高了点。公司蛮好

国产替代空间
全球市场由应用材料、Axcelis等美日企业主导（CR3超80%），但国内厂商如凯世通、中科信技术突破显著。万业企业、北方华创等通过政策支持和研发投入，逐步填补高端设备空白，目标在28nm及以上制程实现超60%渗透率。