重大突破！国产串列型高能氢离子注入机成功出束，半导体国产化再提速

2026年1月17日，我国首台串列型高能氢离子注入机（POWER-750H）成功出束，核心指标达到国际先进水平。该设备与光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备并称芯片制造“四大核心装备”，此次突破标志着我国全面掌握其全链路研发技术，攻克了功率半导体制造的关键瓶颈，成功打破海外长期技术封锁与垄断，不仅为高端制造装备自主可控奠定坚实基础，更将加速半导体设备国产替代进程，直接利好离子注入机产业链、功率半导体及相关配套材料企业，短期事件催化下相关标的关注度将显著提升。

核心受益标的梳理

一、离子注入机及核心设备龙头

• 万业企业：国内离子注入机核心龙头，通过子公司凯世通深耕高能离子注入机技术，此次设备突破直接验证其国产技术实力，当前公司产能扩张与客户拓展同步加速，短期事件催化下市场关注度将大幅提升。

• 北方华创：国内半导体设备全产业链龙头，业务覆盖离子注入机、刻蚀机等核心品类，技术壁垒深厚。在国产替代加速背景下，订单持续增长支撑业绩高增，事件催化将进一步带动板块情绪升温。

• 中微公司：国内刻蚀设备龙头企业，同步布局离子注入机相关技术，深度受益于半导体设备国产替代趋势，技术迭代与客户拓展双轮驱动订单增长，事件催化下关注度有望持续提升。

二、半导体配套设备企业

• 拓荆科技：国内薄膜沉积设备龙头，为离子注入机提供核心配套设备，技术水平行业领先。受益于半导体产能扩张浪潮，订单稳步增长支撑业绩，事件催化下产业链协同效应凸显。

• 华海清科：国内化学机械抛光设备龙头，为半导体制造提供关键配套支持，技术壁垒深厚。随着国产替代进程加速，订单增长确定性强，事件催化下市场关注度将显著提升。

• 长川科技：国内半导体测试设备龙头，为离子注入机提供专业测试解决方案，技术优势突出。依托半导体设备国产替代红利，订单增长支撑业绩，事件催化下板块情绪持续升温。

• 盛美上海：国内半导体清洗设备龙头，为离子注入机提供配套清洗设备，技术壁垒深厚。受益于行业产能扩张需求，订单增长支撑业绩稳步提升，事件催化下关注度进一步提高。

• 芯源微：国内涂胶显影设备龙头，为半导体制造提供核心配套，技术领先行业。在国产替代加速背景下，订单增长动能充足，事件催化下产业链协同价值凸显。

• 至纯科技：国内半导体清洗设备核心企业，为离子注入机提供配套清洗服务，技术积累深厚。伴随行业产能扩张，订单持续增长支撑业绩，事件催化下市场关注度将明显提升。

三、配套材料核心企业

• 江化微：国内湿电子化学品龙头，为离子注入机提供关键配套材料，技术实力领先。深度受益于半导体国产替代加速，订单增长支撑业绩，事件催化下板块情绪升温。

• 沪硅产业：国内硅片龙头企业，为离子注入机提供核心基材，技术壁垒深厚。受益于半导体行业产能扩张，订单稳步增长支撑业绩，事件催化下市场关注度将持续提升。

四、功率半导体龙头

• 立昂微：国内硅片与功率半导体双龙头，受益于功率半导体需求持续增长，产能扩张与技术突破共同支撑业绩，事件催化下产业链协同效应凸显。

• 斯达半导：国内IGBT领域龙头，功率半导体核心企业，在国产替代加速浪潮中，订单增长支撑业绩稳步提升，事件催化下关注度显著提高。

• 新洁能：国内MOSFET龙头企业，技术壁垒深厚，受益于新能源行业需求增长，订单持续放量支撑业绩，事件催化下板块情绪升温。

• 时代电气：国内功率半导体龙头，重点布局车规级IGBT产品，技术领先。依托新能源汽车需求增长红利，订单增长动能充足，事件催化下市场关注度提升。

• 士兰微：国内IDM模式功率半导体龙头，具备芯片设计与制造一体化能力，技术壁垒深厚。受益于国产替代加速，订单增长支撑业绩，事件催化下板块情绪持续向好。

• 扬杰科技：国内功率半导体核心企业，布局MOSFET与IGBT等核心产品，技术优势突出。受益于新能源需求增长，订单稳步增长支撑业绩，事件催化下关注度进一步提高。

• 闻泰科技：国内功率半导体龙头，通过安世半导体深耕车规级器件领域，技术壁垒深厚。依托新能源汽车需求增长，订单增长支撑业绩，事件催化下市场关注度显著提升。

五、产业链核心支撑企业

• 中芯国际：国内晶圆制造龙头企业，为离子注入机提供关键应用场景。在国产替代加速背景下，产能持续扩张支撑业绩，事件催化下产业链协同效应凸显。

• 中核科技：背靠中核集团，受益于核技术与半导体产业融合趋势，积极布局半导体相关设备与材料业务，事件催化下市场关注度提升，技术协同效应值得期待。

总结

本次串列型高能氢离子注入机的成功出束，是我国半导体核心设备领域的关键里程碑，标志着功率半导体产业链自主可控迈出重要一步，将进一步强化2026年半导体国产化率提升的确定性。短期来看，事件催化将带动相关标的情绪显著升温；长期而言，需重点关注技术突破节奏、产能释放进度及客户验证情况。建议聚焦具备核心技术壁垒与优质客户资源的标的，结合估值水平与基本面综合判断，谨慎参与短线交易。

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