离子注入，量检测，光刻机是最难三个设备……

这是巨大突破了……『我国首台！芯片制造核心装备取得重要突破|研究院|原子能|中国原子能科学研究院|氢离子|光刻机_新浪新闻』http://t.cn/AXGC8Aza ​