离子注入机：驱动半导体产业的“原子级”革命

作为芯片制程中不可或缺的关键设备，离子注入机正成为支撑智能时代技术演进的战略基石，其技术自主与国产化进程的推进，正在重塑全球半导体产业链的竞争格局。

相关题材概念公司梳理

整机
$先导基电 sh600641$ ：子公司凯世通离子注入机产品通过国内多家 12 英寸主流晶圆厂客户验证验收，覆盖低能大束流离子注入机、超低温离子注入机、高能离子注入机多款机型
$华海清科 sh688120$ ：子公司芯睿公司实现面向芯片制造的大束流离子注入机各型号的全覆盖，在手订单充足，正积极布局高能离子注入机、碳化硅专用离子注入装备等多品类产品
$北方华创 sz002371$ ：2025 年 3 月 26 日，北方华创在 SEMICON China 2025 大会上宣布进军离子注入设备市场，发布首款离子注入机 Sirius MC 313
晶盛机电：产品：8 英寸碳化硅中束流离子注入机；在研：硅大束流离子注入机
捷佳伟创：公司正在进行碳化硅离子注入机等第三代半导体装备的研发

股权相关
鲁信创投：艾恩半导体（公司合计参股 11.53%）离子注入机已经推向市场

零部件
江丰电子：公司半导体精密零部件广泛应用于离子注入机等半导体设备中
中瓷电子：公司精密陶瓷部件应用于离子注入机
富创精密：公司产品包括离子注入机模组

材料
安泰科技：公司生产离子注入机用钨钼材料
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