【深紫外激光晶体研制成功，但不用于EUV？】#ai超级工厂# #euv# #激光# #晶体# 近日，中国科学院新疆理化技术研究所的潘世烈团队，在CN期刊发表了一项重磅研究——他们成功制备了高质量的氟化硼酸铵深紫外双折射晶体，简称ABF晶体。这款晶体的厉害之处在于，它让激光通过倍频技术，输出了158.9纳米的真空紫外光，并且实现了4.8毫焦的脉冲能量。关键，在半导体产业链中，光刻只是前道工艺，而量检测同样关键。158纳米级别的真空紫外激光，在半导体缺陷检测、套刻精度测量、薄膜厚度检测等环节具有独特优势。目前这些设备主要依赖进口，ABF晶体的突破可能让我们在这些"卡脖子"的检测设备上实现自主可控。@新浪人工智能 http://t.cn/AXqOosKc