芯片制造“四大核心装备”中国全突破?我国目前达到世界先进水平的有离子注入机(中核集团研究),光刻机(上海微电子等研究),刻蚀机(中微、北方华创等),薄膜沉积(中微、拓荆,微纳等)。它们是半导体制造不可或缺的“刚需”设备,中国已逐一突破!
发布于 江苏
芯片制造“四大核心装备”中国全突破?我国目前达到世界先进水平的有离子注入机(中核集团研究),光刻机(上海微电子等研究),刻蚀机(中微、北方华创等),薄膜沉积(中微、拓荆,微纳等)。它们是半导体制造不可或缺的“刚需”设备,中国已逐一突破!