光刻机概念股梳理：
一、整机与核心平台（最核心）
​• 张江高科（600895）：上海微电子（SMEE，国内唯一量产前道光刻机）第一大股东（持股约10.78%），光刻机生态核心平台
​• 上海电气（601727）：SMEE直接持股32.08%，整机核心资本方
​• 芯碁微装（688630）：直写光刻设备龙头，先进封装/面板领域
​• 芯源微（688037）：涂胶显影设备龙头，光刻核心工序
​二、光学系统（光刻机“眼睛”）
​• 福晶科技（002222）：全球光学晶体龙头，供ASML/上海微电子，光源核心材料
​• 茂莱光学（688502）：超精密光学元件，物镜镜片组国产唯一量产
​• 腾景科技（688195）：精密光学元件，光刻机光学系统配套
​• 波长光电（301421）：DUV投影物镜、照明系统，国产光刻机核心光学供应商
​• 奥普光电（002338）：纳米级工件台、物镜系统
​三、光源与激光系统
​• 炬光科技（688167）：激光光学、光束匀化，EUV相关技术
​• 凯美特气（002549）：光刻特种气体（氪/氖），EUV光源气体
​• 华特气体（688268）：国内唯一ASML认证电子特气，28nm及以下
​四、精密运动/控制/结构件
​• 华卓精科（688207）：双工件台核心，光刻机运动系统龙头
​• 富创精密（688409）：ASML认证精密金属结构件
​• 新莱应材（300260）：高纯真空/气体管路系统
​• 同飞股份（300990）：光刻机温控系统核心供应商
​五、光刻胶与材料
​• 南大光电（300346）：ArF光刻胶国产量产标杆
​• 彤程新材（603650）：KrF/ArF全品类光刻胶
​• 上海新阳（300236）：I线到ArF浸没式全系列光刻胶
​六、辅助设备与服务
​• 蓝英装备（300293）：晶圆清洗、表面处理，为ASML供关键部件
​• 广立微（301095）：光刻工艺EDA，提升光刻机良率
​• 东方嘉盛（002889）：光刻机寄售维修保税仓库唯一服务商
​七、其他核心标的
​• 赛微电子（300456）：MEMS透镜，物镜系统核心部件
​• 江丰电子（300666）：高纯溅射靶材，半导体制造核心材料
​• 大族激光（002008）：激光加工设备，泛半导体光刻配套
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