光刻机10只核心龙头

1. 张江高科：参股上海微电子10.78%，国产光刻机整机核心
2. 芯碁微装：直写光刻设备龙头，先进封装/面板
3. 福晶科技：光学晶体龙头，市占超60%，用于光刻光源
4. 茂莱光学：DUV光学透镜，供货上海微电子
5. 奥普光电：光栅编码器，双工件台核心，国产替代率高
6. 苏大维格：光刻机定位光栅，适配28nm工艺
7. 南大光电：ArF光刻胶龙头，通过中芯国际验证
8. 新莱应材：真空阀门/系统，光刻设备洁净配套
9. 蓝英装备：ASML认证，光刻光学清洗设备
10. 赛微电子：MEMS微镜供EUV光路，布局整机

⚠️ 仅概念梳理，不构成投资建议。

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