芯片洁净室产业链 A股公司梳理

一、洁净室工程/系统集成（EPC/EPCO，核心龙头）

- 亚翔集成：半导体洁净室龙头，高端制程能力突出，深度绑定国内外头部晶圆厂
- 柏诚股份：内资洁净室集成领军，半导体业务占比高，服务国内主流存储、晶圆厂
- 圣晖集成：台资背景，EPCO全流程服务，覆盖封测、晶圆制造环节
- 深桑达A：中电旗下，依托中电二、中电四，承接国家级半导体重大项目
- 太极实业：旗下十一科技，国内头部洁净室工程方，服务海外大厂及国内存储厂
- 华康洁净：电子+医药双洁净室业务，覆盖长江存储等核心客户

二、洁净室核心设备（空气净化+流体+废气处理）

- 美埃科技：FFU、高效过滤器龙头，半导体空气净化核心供应商
- 至纯科技：高纯工艺系统+洁净室配套，覆盖晶圆厂制程端洁净需求
- 新莱应材：高纯流体管阀、真空部件，洁净室流体系统核心标的
- 盛剑环境：专注半导体工艺废气治理，洁净配套刚需
- 创元科技：旗下苏净集团，空气净化设备老牌企业

三、洁净室材料/耗材

- 再升科技：超高效过滤材料，洁净室核心耗材上游
- 新纶科技：防静电无尘服、无尘布等洁净室耗材
- 华特气体：特种气体及输送系统，先进制程洁净环境刚需

四、产业链弹性优先级

1. 工程集成：亚翔集成 → 柏诚股份 → 圣晖集成
2. 核心设备：至纯科技 → 美埃科技 → 新莱应材
3. 材料耗材：再升科技 → 华特气体 → 新纶科技