光刻机产业链核心公司速览

一、整机/生态（核心）

- 张江高科：参股上海微电子（SMEE），国产光刻机资本平台
- 芯碁微装：直写光刻龙头，封测/面板领域市占率领先
- 上海电气：SMEE第一大股东，提供制造支撑
- 华卓精科：双工件台技术，独家供应SMEE前道光刻机

二、光学系统（光刻机核心部件）

- 茂莱光学：SMEE光学核心供应商，获ASML认证
- 福晶科技：光刻光源晶体龙头，进入ASML供应链
- 奥普光电：聚焦EUV光学研发，布局光栅编码器
- 波长光电：量产DUV投影物镜，具备110nm分辨率

三、光源/激光系统

- 炬光科技：国内独家光场匀化器，配套DUV光刻照明
- 凯美特气：获ASML认证，供应光刻气
- 华特气体：高纯电子特气，覆盖28nm及以下制程

四、精密结构/真空/温控

- 富创精密：ASML认证精密金属件供应商
- 新莱应材：高纯真空/气体管路系统提供商
- 同飞股份：光刻机激光器温控国产龙头
- 中瓷电子：供应精密陶瓷零部件

五、光刻胶/配套材料

- 南大光电：量产ArF光刻胶，通过28nm验证
- 彤程新材：布局KrF/ArF全品类光刻胶
- 上海新阳：覆盖I线至ArF浸没式全系列光刻胶

六、清洗/辅助设备

- 蓝英装备：ASML EUV清洗设备供应商
- 广立微：光刻工艺EDA，提升设备良率

七、其他核心配套

- 赛微电子：MEMS镜片供应ASML
- 苏大维格：光刻机整机+定位光栅尺，出口海外

⚠️ 风险提示：仅产业链梳理，不构成投资建议；国产替代、技术突破及订单落地存在不确定性。
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