【#中微公司四款新品亮相SEMICON China 2026#，各有技术突破】#中微公司 sh688012[股票]#

3月25日，中微公司四款覆盖硅基及化合物半导体关键工艺的新品亮相2026年SEMICON China，包括新一代ICP等离子体刻蚀设备Primo Angnova™、高选择性刻蚀机Primo Domingo™、Smart RF Match智能射频匹配器及蓝绿光Micro LED量产MOCVD设备Preciomo Udx®。
此次发布的四款新品各有技术突破。Primo Angnova™与Primo Domingo™分别攻克先进节点高深宽比刻蚀、3D半导体器件高选择比刻蚀难题，填补国内相关工艺自主化空白。
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