【Light | 高深宽比微结构测量：傅里叶叠层扫描干涉术】近日，南京理工大学高志山/袁群研究团队在《Light: Science & Applications》发表论文，高深宽比微结构三维测量方面取得进展，提出一种基于傅里叶叠层成像思想的近红外低相干干涉显微测量方法。该方法将傅里叶叠层技术“多角度照明+频域合成”的计算成像思路引入相干扫描干涉，解决了传统显微干涉在高深宽比微结构测量中常见的信噪比下降与横向分辨能力受限问题。实验结果表明，该技术能够在高深宽比微结构形貌测量中保持更稳健的重建效果，并有效提升微结构底部区域的横向细节恢复能力，面向半导体复杂微结构测量具备应用潜力。【点击链接查看原文：http://t.cn/AXILRngH】

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