光刻机产业链概念股梳理

一、整机核心｜产业链顶端

- 张江高科：参股上海微电子，国内唯一前道光刻机整机关联企业
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- 芯碁微装：直写光刻龙头，应用于先进封装、PCB领域
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- 苏大维格：微纳光学光刻机，高精度纳米光栅专业制造商

二、光学系统｜设备核心“镜头”

- 茂莱光学：光刻机核心光学部件供应商
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- 福晶科技：光刻光源非线性光学晶体行业龙头
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- 波长光电：DUV投影物镜、光刻光学镜头研发
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- 奥普光电：曝光光学系统技术研发
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- 永新光学：光刻机对准检测光学部件生产

三、光源系统｜设备“能量源”

- 炬光科技：光刻用光场匀化器供应
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- 凯美特气：光刻准分子激光气专供
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- 华特气体：高纯电子特气，适配先进制程

四、精密配套｜设备“骨架与环境”

- 富创精密：光刻机精密金属结构件
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- 新莱应材：高纯真空、气体管路系统
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- 同飞股份：高精度温控设备
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- 中瓷电子、珂玛科技：精密陶瓷、静电卡盘零部件

五、耗材软件｜工艺“核心耗材”

- 南大光电：ArF光刻胶量产
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- 雅克科技：光刻胶、电子特气全布局
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- 广立微：光刻EDA、良率提升方案

六、控制配套｜设备“操控中枢”

- 电科数字：纳米级运动控制
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- 蓝英装备：光刻胶处理、清洗系统

备注：以上为公开资料整理，不构成投资建议。#a股##股票##财经#