光刻机八大唯一

1. 茂莱光学：国内唯一实现28nm DUV光刻机物镜组量产的企业，面形精度达0.5nm RMS
2. 凯美特气：国内唯一光刻气(ArF/KrF)通过ASML子公司Cymer认证的企业，纯度达99.9999%
3. 蓝英装备：国内唯一获得ASML认证的EUV光刻机清洗设备供应商
4. 奥普光电：国内唯一量产高端光栅尺的企业，承担国家专项光刻机物镜系统研发任务
5. 东方嘉盛：国内唯一拥有海关分送集报保税仓资质的光刻机维修服务商
6. 波长光电：国内唯一可提供光刻机全光路光学解决方案的企业，照明模块匀光镜均匀性>98%，物镜系统镜片组畸变控制<1nm
7. 赛微电子：国内唯一为ASML提供EUV高端光刻机MEMS透镜系统的公司
8. 张江高科：上海微电子持股比例A股第一，10.78%

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