电子特气全产业链概念梳理

一、六氟化钨（WF6）相关概念

近日，日本六氟化钨供应商关东电化、中央硝子等，已通知三星电子等韩国半导体企业，其原材料供应出现中断。六氟化钨是半导体制造关键电子特气，此次断供凸显全球高端电子特气供应链脆弱性，有望加速国内六氟化钨国产化替代进程。

六氟化钨

- 中船特气：年产2000吨/年，公司六氟化钨全球覆盖率70.31%
- 昊华科技：产能600吨/年，产品应用于半导体制造
- 中炬芯：产能600吨/年
- 和远气体：有年产500吨六氟化钨生产装置
- 至纯科技：子公司南通至纯经营范围包括六氟化钨

二氯二氢硅

- 三孚股份：批量供应电子级二氯二氢硅；产能：850吨/年
- 和远气体：试生产电子级二氯二氢硅；产能：300吨/年
- 金宏气体：试生产电子级二氯二氢硅；产能：200吨/年
- 华塑股份：电子级二氯二氢硅已完成可行性研究；规划产能：500吨/年
- 中国中冶：下属中硅高科转型升级项目，主要产品包含电子级二氯二氢硅

 

二、其他电子特气细分赛道

三氟化氮

- 中船特气：产能18500吨/年，全球覆盖率65.03%
- 南大光电：产能8300吨/年，是国内电子特气龙头之一
- 华特气体：新募投项目拟建产能1000吨/年，产品覆盖多种电子特气
- 昊华科技：年产5000吨/年，在建产能6000吨/年
- 广钢气体：正筹建3000吨电子级三氟化氮项目

六氟丁二烯

- 昊华科技：产能1200吨/年，全球第一
- 中船特气：产能200吨/年
- 中炬芯：175吨/年电子级六氟丁二烯项目已建成
- 华特气体：在建项目有年产300吨六氟丁二烯合成项目
- 金宏气体：在建产能200吨/年

其他电子特气

- 凯美特气：电子特气包括超高纯气体和光刻气，通过ASML子公司认证
- 雅克科技：子公司生产高纯四氟化碳、六氟化硫等，应用于半导体蚀刻环节
- 桥源股份：公司高纯氮气、高纯氩气应用于半导体制造领域，已与多家半导体产业链企业合作
- 建业股份：超纯氨产能13000吨
- 三孚股份：年产500吨电子级二氯二氢硅及年产1000吨电子三氯氢硅

设备

- 杭氧股份：国内空分设备市占率第一；2024年空分设备营收45.25亿元
- 福斯达：2024年空分设备营收19.17亿元

 

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