AI芯片热潮带动光刻机产业链15家企业业绩暴增，最高净利增300%+，订单普遍排至2026-2027年，国产替代加速。

核心7家速览

• 芯碁微装：直写光刻龙头，2026订单破8亿，产能满负荷。

• 南大光电：ArF光刻胶龙头，净利增300%+，在手订单超20亿。

• 彤程新材：KrF光刻胶龙头，订单排至2026年底。

• 福晶科技：光源部件龙头，2025净利增60%+，2026订单增80%。

• 奥普光电：双工件台核心，2025净利增75%+，专项订单超5亿。

• 苏大维格：光栅尺龙头，2025净利增130%+，2026订单增200%。

• 晶瑞电材：G/I线/KrF光刻胶，2026在手订单超8亿。

产业链全景（15家）

• 设备：芯碁微装、芯源微、上海新阳、蓝英装备。

• 光刻胶：南大光电、彤程新材、晶瑞电材、上海新阳、容大感光。

• 零部件：福晶科技、奥普光电、苏大维格、茂莱光学、富创精密。

提示：以上为行业信息整理，不构成投资建议。