其实比起Intel和三星，TSMC的工艺在微观尺寸上才是最小的，理论上使用High-NA EUV的增益是更大的。
同时以台积电的体量而言，High-NA EUV 单体来看应该还是有经济性的（毕竟2次取代1次），可能不经济的地方在于不方便和台积电的其它广大工艺复用光刻机？
发布于 云南
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