这两天顺带看了看俩国内半导体设备材料公司的电话会议，虽然还是有很多不足，但最先进的差不多已经到了5-7nm。
鼎龙股份在电话会议里面表示：
CMP Pad的种类已经超过了陶氏，进入了5nm、7nm产线；
光刻胶稳定交付的KrF和ArF有三十多种，目前还只是30吨/年产线，马上300吨/年的会投产。

中科飞测表示，他们的量测设备目前在1xnm级别已经稳定供货，7nm级别已经有一个领域开始稳定供货，预计今年下半年其他设备会在7nm级别陆续验证。