鬼谷子鬼哥 26-05-06 10:01
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半导体设备:
单晶炉:晶盛机电、晶升股份、京运通、沪硅产业;
碳化硅设备:晶盛机电;
氧化扩散:北方华创、屹唐股份、盛美上海、捷佳伟创;
扩散设备:捷佳伟创;
热处理设备:屹唐股份、北方华创、盛美上海;
电镀:盛美上海;
炉管:屹唐股份、北方华创、盛美上海、晶盛机电;
刻蚀设备:
CCP刻蚀:中微公司、北方华创;
ICP刻蚀:中微公司、北方华创;
深硅刻蚀设备:中微公司、北方华创、屹唐股份、迈为股份;
干法刻蚀:屹唐股份;
刻蚀材料:神工股份;
沉积薄膜:
LPCVD:中微公司;
PVD:北方华创;
PECVD:北方华创、拓荆科技;
MOCVD:中微公司、北方华创;
CVD:拓荆科技、盛美上海、北方华创;
ALD:微导纳米、北方华创、拓荆科技、盛美上海、中微公司、迈为股份、晶盛机电;
涂胶显影:芯源微、盛美上海;
去胶:屹唐股份、盛美上海、北方华创;
离子注入机:先导基电、华海清科、北方华创;
化学机械抛光CMP:华海清科、盛美上海;
直写光刻:芯碁微装;
镀铜:盛美上海;
温控设备:京仪装备;
清洗设备:盛美上海、至纯科技、北方华创、芯源微、富乐德、新莱应材、蓝英装备;
量检测设备:中科飞测、精测电子、赛腾股份、华兴源创、和林微纳、中微公司、天准科技、长川科技、华峰测控;
废气处理:京仪装备;
封测:迈为股份;
封装:耐科装备;
测试:联动科技;
测试系统:
测试机:华峰测控、长川科技、和林微纳、精智达;
探针台:和林微纳、强一股份、矽电股份;
分选机:长川科技、金海通、奥特维;
划片机:光力科技;
减薄机:晶盛机电、华海清科;
切片机:德龙激光、大族激光、锐科激光;
键合机:芯源微、奥特维;
混合键合:拓荆科技、迈为股份;
临时键合:迈为股份、芯源微;
解键合:迈为股份、芯源微;
零部件:
管阀:新莱应材;
真空泵:汉钟精机、京仪装备;
真空腔体:富创精密、晶盛机电;
精密结构件:富创精密、华亚智能;
射频电源:英杰电气;
静电吸盘:江丰电子
核心零组件:正帆科技;
微纳光学:苏大维格。

发布于 广东