【#华海清科全资子公司交付自主研发12英寸大束流离子注入机#】#华海清科#
近日，国产半导体前道装备取得关键技术突破。华海清科全资子公司芯嵛半导体自主研发的 12英寸大束流离子注入机iPUMA‑LE，正式交付国内先进存储龙头企业，标志着国产高端离子注入装备成功切入先进存储制造核心赛道。
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