【上海 AI 实验室等实现高纯度、高一致性、高效率的 KrF 光刻胶树脂创制】相关公司基于光刻胶配方开发经验，完成了树脂适配，产业关键指标均达预期后续将进入客户端验证阶段。
IT之家 26-05-12 10:48
【上海 AI 实验室等实现高纯度、高一致性、高效率的 KrF 光刻胶树脂创制】相关公司基于光刻胶配方开发经验，完成了树脂适配，产业关键指标均达预期后续将进入客户端验证阶段。