电子特气概念梳理

事件驱动

电子特气是半导体制造的关键材料，被称为半导体材料的“粮食”，在芯片制造中各环节承担着核心作用：

- 二氯二氢硅：作为“建筑工”，负责沉积硅层
- 三氟化氮：作为“清洁工”，负责清洗反应腔
- 六氟化钨：作为“布线工”，负责沉积金属钨导线
- 六氟丁二烯：作为“高级雕刻师”，负责纳米级精密刻蚀

随着半导体技术向7nm、5nm及以下先进制程演进，对电子特气的纯度、种类和稳定性提出了更高要求，使其成为全球高端材料领域的战略物资。

 

部分相关核心上市公司一览表

六氟化钨

- 中船特气：年产2000吨/年，公司六氟化钨全球覆盖率70.31%
- 昊华科技：产能600吨/年，产品应用于半导体制造
- 中炬芯：产能600吨/年
- 和远气体：有年产500吨六氟化钨生产装置
- 至纯科技：子公司南通至纯经营范围包括六氟化钨

二氯二氢硅

- 三孚股份：批量供应电子级二氯二氢硅，产能850吨/年
- 和远气体：试生产电子级二氯二氢硅，产能300吨/年
- 金宏气体：试生产电子级二氯二氢硅，产能200吨/年
- 华塑股份：电子级二氯二氢硅已完成可行性研究，规划产能500吨/年
- 中国中冶：下属中硅高科转型升级项目，主要产品包含电子级二氯二氢硅

三氟化氮

- 中船特气：产能18500吨/年，全球覆盖率65.03%
- 南大光电：产能8300吨/年，是国内电子特气龙头之一
- 华特气体：新募投项目拟建产能1000吨/年，产品覆盖多种电子特气
- 昊华科技：年产5000吨/年，在建产能6000吨/年
- 广钢气体：正筹建3000吨电子级三氟化氮项目

六氟丁二烯

- 昊华科技：产能1200吨/年，全球第一
- 中船特气：产能200吨/年
- 中炬芯：175吨/年电子级六氟丁二烯项目已建成
- 华特气体：在建项目有年产300吨六氟丁二烯合成项目
- 金宏气体：在建产能200吨/年

其他电子特气相关企业

- 凯美特气：电子特气包括超高纯气体和光刻气，通过ASML子公司认证
- 雅克科技：子公司生产高纯四氟化碳、六氟化硫等，应用于半导体蚀刻环节
- 桥源股份：公司高纯氮气、高纯氩气应用于半导体制造领域，已与多家半导体产业链企业合作
- 建业股份：超纯氨产能13000吨
- 三孚股份：年产500吨电子级二氯二氢硅及年产1000吨电子三氯氢硅

设备

- 杭氧股份：国内空分设备市占率第一，2024年空分设备营收45.25亿元
- 福斯达：2024年空分设备营收19.17亿元

 

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