#国产MEMS微镜芯片量产突破#记者从安徽北方微电子研究院集团有限公司了解到，近日，该院在MEMS-OCS阵列微镜芯片的微纳工艺集成制造技术上取得重大突破，成功攻克了一系列技术难题，掌握了MEMS-OCS阵列微镜芯片量产制造工艺，为我国高端光通信核心芯片国产化替代筑牢了产业底座。（蚌埠市新闻传媒中心记者 顾楷 通讯员 彭雪媛）http://t.cn/AX6ZM9eC
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