5月22日，半导体产业链集体反弹，截至收盘，中证芯片产业指数上涨2.6%，上证科创板芯片设计主题指数上涨2.4%，上证科创板芯片指数上涨2.0%，中证半导体材料设备主题指数上涨1.0%，半导体设备ETF易方达（159558）全天净申购达1.7亿份。Wind数据显示，该ETF此前已连续7个交易日获资金净流入，合计超15亿元。