玻璃基板的核心优点有三个:翘曲极小(CTE接近硅,热稳定性好);高频损耗极低(玻璃是优质绝缘体,介电损耗远小于有机材料);面积可以做成大面板,不受300mm晶圆尺寸限制,理论上想多大做多大。通过TGV(Through-Glass Via,玻璃通孔)实现垂直导通。
发布于 日本
玻璃基板的核心优点有三个:翘曲极小(CTE接近硅,热稳定性好);高频损耗极低(玻璃是优质绝缘体,介电损耗远小于有机材料);面积可以做成大面板,不受300mm晶圆尺寸限制,理论上想多大做多大。通过TGV(Through-Glass Via,玻璃通孔)实现垂直导通。