半导体二手设备TSK UF200SA探针台出售
一、概述
TSK UF200SA（ACCRETECH / 东京精密） 是一款5–8 英寸（200mm）高精度桌面式半自动探针台，主打器件特性分析、可靠性测试、失效分析，广泛用于实验室、工程研发及小批量 CP 测试。

二、核心结构与原理
平台：高精度 X/Y/Zθ 四轴，直线电机驱动，亚微米级定位，重复精度 **≤0.2μm**。
对准：高分辨率 CCD（1.5μm）+ 实时图像处理，自动 / 手动精密对准，适配微小焊盘 / 窄间距。
载片台（Chuck）：真空吸附，标配室温～150°C 高温卡盘，可选 **-40°C 低温 **，适配高低温测试。
探针座：支持4–8 个探针，兼容直流 / 射频 / 高压探针，接触压力可控。
自动化：半自动上下料（1 个标准晶圆盒，可选第 2 个），GPIB 接口可连 ATE，实现简易自动化。
三、关键参数（2026 典型值）
晶圆尺寸：5″/6″/8″（最大 φ200mm）。
X/Y 行程 / 速度：±120mm；200mm/s。
Z 行程 / 响应：69mm；35ms/0.5mm。
θ 旋转：±5°，自动对准补偿。
定位精度：±4μm（全行程）；重复精度 **≤0.2μm**。
温度范围：室温～150°C（标配）；-40°C~150°C（可选）。
图像分辨率：1.5μm，高清 CCD + 环形照明。
尺寸 / 重量：1,092×1,101×880mm；约800kg。
功耗 / 气源：Max 1.5kVA；0.4MPa 压缩空气；-53kPa 真空。
四、优缺点
优点
精度高、重复性好：直线电机 + 亚微米定位，适合精密器件 / 小尺寸焊盘。
温度范围宽：标配150°C，可选低温，覆盖绝大多数可靠性 / 高低温测试。
图像清晰、对准快：1.5μm 分辨率 CCD，自动对准，降低操作难度。
桌面式、占地小：800kg，无需特殊地基，实验室 / 研发线易部署。
缺点
非全自动量产型：半自动上下料，产能低于UF300/AP 系列，不适合大规模量产。
不支持 300mm：最大8 英寸，不适用于12 英寸先进制程。
新机已停产：UF200SA已被UF2000/UF3000系列替代，市场以二手翻新机为主。
五、典型应用
半导体研发：MOSFET、BJT、IGBT、GaN/ SiC 功率器件的IV/CV、击穿、漏电、热阻测试。
光电子：LED、LD、PD的光电特性、可靠性、老化测试。
MEMS / 传感器：压力、加速度、温感器件的静态 / 动态特性测试。
失效分析（FA）：开封后芯片、线路板（PCB）、基板的短路 / 开路、漏电、ESD定位分析。#半导体行业##二手设备##探针台#