目前市场出现短缺的品类，主要是用于AI芯片、先进逻辑制程、多层堆叠3D NAND存储等高纯级（5N级及以上）六氟化钨。

六氟化钨主要用于芯片制造中的化学气相沉积工艺，以形成高纯度钨金属薄膜，广泛应用于接触孔填充、互连层及DRAM电容结构。#中式主题乐园能有多出圈# ​