直接收藏!半导体洁净管验收1页检查清单,现场对照零失误
做半导体洁净工程,验收不用死记硬背。整理一份现场可直接打勾的验收清单,覆盖进场、焊接、安装、测试、收尾全流程,新手也能精准验收。
✅ 进场验收清单
□ 材质为316L BA/EP级,资料齐全可溯源
□ 内壁粗糙度参数达标,无划痕、凹凸缺陷
□ 管材完全脱脂,无油污、粉尘、水渍
□ 管口密封完好,无二次污染
□ 所有管件、阀门、垫片材质同源匹配
✅ 焊接验收清单
□ 采用全自动轨道焊,全程管内充氩保护
□ 焊道内壁无氧化、无发黑发蓝
□ 无焊瘤、无凹陷、无气孔裂纹夹渣
□ 焊缝平整顺滑,无应力集中隐患
✅ 安装验收清单
□ 管路布局规范,无强行扭曲、拉扯变形
□ 坡度合理,无积水积气死角
□ 支架间距合规,固定牢固无松动
□ 管路接口精简,减少污染点位
✅ 试压吹扫验收清单
□ 强度压力试验合格,无变形渗漏
□ 24小时气密性保压合格,压降达标
□ 高纯氮气吹扫干净,颗粒度检测达标
□ 特气系统完成氦检,无微漏隐患
✅ 收尾防护清单
□ 验收合格后管口及时封堵密封
□ 现场无二次污染,施工杂物清理干净
□ 完整验收报告、检测资料归档留存
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