出大事了,中国交付首台光芯片压印机,成本砍至DUV十分之一。这一次不是追赶,是直接换了一条赛道。
2026年6月上旬,深圳南山一个洁净车间里,福林科技的PLS真空气压式晶圆级纳米压印光刻设备正式交付深圳力测科技。名字很长,大家记住一个比喻就行了,这台机器的工作方式像盖印章。传统DUV和EUV光刻机是用光线当笔尖,在晶圆上一点一点把电路描出来,光学系统精密到变态,整个设备里最贵最难造的就是这套光学镜头组。荷兰ASML为什么能卡全球的脖子,就是因为它把EUV光学系统做到了别人做不出来的精度。纳米压印不跟你玩这套光学魔术,它直接把电路图案刻在硬质模具上,模具往晶圆上压下去,所有电路一次成型。意思很直白,你还在拿笔一笔一笔描,我这边印章盖下去整页纸全部印好了。不是追你的技术路线,是把你那条路旁边的墙给拆了。
数据拿出来大家感受一下。这台设备的用电量只有EUV光刻机的十分之一,设备投资成本下降超过百分之六十。最狠的是八英寸光芯片的综合制造成本,直接压到了传统DUV工艺的十分之一。线宽分辨率做到小于10纳米,晶圆整面压印的压力均匀性误差低于百分之零点五。这个精度什么概念,相当于在一个足球场大小的面积上施压,全场压力误差不超过千分之五。一套不需要复杂光学系统,不烧巨额电力,成本只有十分之一的设备,做出来的东西精度不输DUV。这意味着什么。意味着光刻机那个荷兰神话,从这张桌子上开始裂缝了。#微博视频号迎新计划##中长视频流量扶持计划##热点观点# http://t.cn/AXama3gZ
发布于 浙江
