电子特气国产替代赛道｜六氟化钨核心产能一览

六氟化钨主力产能

中船特气2000吨、昊华科技600吨、中炬芯600吨、和远气体500吨装置，至纯科技子公司布局切入

二氯二氢硅赛道

三孚股份批量供货，和远气体、金宏气体试产，华塑股份可研落地，中国中冶旗下中硅稳步推进

NF₃三氟化氮头部产能

中船特气18500吨、南大光电8300吨、昊华科技年产5000吨，华特气体新项目扩建中

六氟丁二烯C₄F₃布局标的

昊华科技、中炬芯、华特气体、中船特气、金宏气体均有在建/落地产能

其他配套特气标的：凯美特气、雅克科技、三孚股份、杭氧股份等

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