六氟化钨（WF₆）生产成本里，高纯钨粉占比最高，达到60%–70%。
国内能够生产半导体、六氟化钨所用5N、6N级高纯钨粉的核心企业如下：

1. 中钨高新：年产能约5000吨，主打5N、6N高纯钨粉；

2. 厦门钨业：年产能2500-3000吨，以5N产品为主，少量6N规格；

3. 章源钨业：年产能500-800吨，主要生产5N高纯钨粉。