#wiley资讯[超话]##资讯##学术# AS | 南京大学陈延峰，卢明辉，张子栋：摆脱底电极依赖的高泛音体声波谐振器新架构
高泛音体声波谐振器（HBAR）能够在千兆赫兹（GHz）频段提供高品质因子、多模谐振和长声子寿命，是微波滤波、频率控制、延迟线和片上声子系统的重要器件平台。传统HBAR通常采用上下金属电极夹持压电薄膜的“三明治”结构，通过压电层激发声波并在衬底中形成高阶泛音共振。然而，金属底电极会引入额外声学界面，造成声阻抗失配、声能反射和杂散模式，从而限制器件性能。如何在保持高效电声转换的同时去除底电极，是高性能体声波器件设计中的关键问题。
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