半导体设备：产业链梳理！

1.前道核心工艺整机（刻蚀、沉积、热处理）
2.清洗、电镀专用设备
3.高纯工艺系统、真空气路配套
4.晶圆检测、封装设备
5.核心零部件靶材、真空泵等
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