高纯二氧化碳，最正宗的10家公司
一、凯美特气
主营业务：尾气提纯气体产销
概念关联：依托尾气回收装置制备电子级高纯CO₂，产品已向半导体客户送样，用于晶圆清洗和蚀刻保护气
最新亮点：今年5月披露，电子级高纯CO₂通过某存储芯片厂商产线验证，形成常态化供货。
二、华特气体
主营业务：电子特种气体产销
概念关联：高纯CO₂纯度为5N，重点用在芯片制造干法清洗工艺，已纳入多条晶圆产线的合格物料清单
最新亮点：一季报显示，该产品在3nm制程客户的用量有明显增加，拉升了整体收入。
三、金宏气体
主营业务：综合气体服务商
概念关联：电子级高纯CO₂产线具备规模化供应能力，可配套半导体、光伏工厂，产品对标同类进口气体指标
最新亮点：6月上旬与一家头部逻辑芯片工厂签订长期供应合同，对高纯CO₂采取锁量保价模式。
四、昊华科技
主营业务：氟材料、电子化学品和特种气体
概念关联：特种气体矩阵中包含高纯CO₂，面向芯片、光伏行业提供清洗及保护气氛，产品已随其他特气一同导入晶圆厂
最新亮点：年报提到，高纯CO₂在12英寸工厂的用量有所增长，并新签了现场供气项目。
五、和远气体
主营业务：大宗气体和多种工业特种气体
概念关联：产业园规划了电子级高纯CO₂制备线，设计纯度可满足半导体生产要求，装置已转入试产
最新亮点：6月下旬公告称，高纯CO₂装置完成调试正式量产，并接受了多家潜在客户的现场稽核。
六、杭氧股份
主营业务：空分设备与气体运营
概念关联：在部分半导体项目中，随空分装置同步输出大宗气体包，里面包含高纯CO₂，服务于晶圆厂洁净环节
最新亮点：5月签约浙江省内一个新建晶圆厂的大宗气站项目，高纯CO₂的供应纳入长期服务框架。
七、侨源股份
主营业务：液态气体和高纯气体
概念关联：利用空气分离和提纯装置产出5N级高纯CO₂，以管道气和钢瓶气形式供应面板客户，同时具备向电子行业延伸的条件
​​八、广钢气体
主营业务：电子大宗气体
概念关联：为半导体厂提供的电子大宗气体包中，包含高纯CO₂，同氮气、氧气等一起用于厂务集中供应和腔室清洗
​​九、正帆科技
主营业务：高纯特种气体及电子材料
概念关联：铜陵生产基地产出5N纯度的高纯CO₂，应用于半导体制程中的光刻辅助和清洗工序
​​十、某某股份
主营业务：氟化工、氯碱化工和石化产品
概念关联：将化工副产二氧化碳进行精制，得到电子级高纯CO₂，一部分供半导体行业试用，一部分用于干冰等工业市场
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