【CSPSD 2026|聚焦绿色厂务技术 解锁半导体制造的低碳增长密码】6月26日，由第三代半导体产业技术创新战略联盟（CASA）指导，由中国科学院上海微系统与信息技术研究所、极智半导体产业网、第三代半导体产业联合主办的“2026功率半导体器件与集成电路会议（CSPSD 2026）”在上海启幕。期间，“半导体绿色厂务技术”平行分会‌，围绕半导体工厂全场景减碳的真实痛点展开探讨，旨在共同破解半导体工厂低碳升级的核心难题。 http://t.cn/AXoAh5KB