【只要马林斯基剧院每年还在制作65部剧目和排演850多场歌剧和舞剧演出，这些实物类的设计制造，难度就不会很大——150nm电子束光刻机原型机2台，正在进行为期4个月的全面调试，所谓无掩膜光刻】

莫斯科的泽列诺格勒纳米技术中心研发出150纳米电子束光刻机原型机。目前，两台原型机正在进行为期约四个月的全面测试

该系统用于无掩模光刻和无光掩模制造，主要适用于芯片原型生产和研发，以及满足小批量芯片生产。虽然其生产效率和速度不足以满足大规模生产的需求，但对于科研和专业电子产品（包括航天应用）而言，该系统仍然具有重要现实意义

这个技术中心在批量生产350nm光刻机，也在测试130nm激光光源光刻机

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