【能耗更低、无锡污染，马斯克暗示 Terafab 晶圆厂将采用 FEL EUV 光源】马斯克暗示其 Terafab 工厂可能采用自由电子激光器（FEL）作为 EUV 光源，替代 ASML 的 LPP 技术。FEL 在功耗、波长扩展和污染控制方面有优势，但设备体积巨大，且商业化尚需时日。#EUV光刻# #Terafab#
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