长电科技在高深宽比先进TSV技术上的突破,确实标志着其3D封装能力上升到了一个全新层次。这并非简单的工艺改进,而是从“具备能力”到“掌握核心技术”的关键跨越。
· 技术指标跃升:成功试制出孔径1.5微米、深度17微米、深宽比高达11.3:1的TSV结构。小孔径高深宽比对刻蚀、镀膜和填充要求极高,实现这一指标证明了长电已具备业界领先的工艺研发与协同验证能力。
· 核心底层技术:TSV是2.5D/3D封装中实现芯片垂直堆叠和互连的“基石”。掌握该技术意味着长电能支撑更高密度、更低损耗的互连,直接服务于AI、HBM等对算力和存力要求极高的前沿芯片。
· 战略布局深化:此次突破为长电打造完整的硅中介层制备能力奠定了基础。这补齐了其“微系统集成平台”的关键底层工艺,使其能为客户提供从晶圆级工艺到系统集成的一站式制造支撑。
总而言之,高深宽比TSV技术的突破,是长电科技在3D封装领域从“跟随”到“引领”之路上的一个重要里程碑,为其在高性能计算等前沿封装市场赢得了更强的竞争力。
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