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26-08-21 16:56 微博认证:集成电路社区集微网官方微博

【#广钢气体配套某重点半导体项目完成氮气送气# 】#广钢气体#

8月21日,据广钢气体消息,公司配套服务的某重点半导体项目近日顺利完成氮气送气。此次送气标志着该项目的供气系统正式进入运行阶段,将为客户芯片核心制程提供高品质氮气保障。
广钢气体是一家国内领先的电子大宗气体综合服务商,主营业务为研发、生产和销售以电子大宗气体为核心的工业气体。在半导体芯片制造过程中,电子大宗气体主要应用于光刻、刻蚀、沉积、扩散等关键环节,作为载气、吹扫气或反应腔室环境维持气体,对制程良率和稳定性具有重要影响。公司“Super‑N”系列超高纯制氮装置采用自主研发的技术路线,产品纯度和稳定性已在半导体客户中实施供应并获广泛认可。http://t.cn/AXp51fc0